概述
EXT75DX /EXT556H复合涡轮分子泵将经实践证明的陶瓷机械下轴承、干式永磁上轴承和Holweck 分级技术与带来额外便利性的板上24V 控制器结合在了一起，不需要TIC 控制器即可兼容并行和串行通信。
功能和优势
· 高临界前级压力
· 大容量流速
· 快速抽气性能
· 多级 Holweck 分子牵引机制为轻气体提供了高压缩量
· 极限真空 <10-10 mbar
· 经验证的 EXT 性能和可靠性
· 混合轴承配置
· 免维护 – 储油器永久密封
· 机加工整体转子
· 直流电机驱动
技术参数
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EXT75DX |
EXT556H |
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入口法兰 |
DN63ISO-K、DN63CF、DN40NW 或 DN100ISO-K |
DN160ISO-K/DN160CF |
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抽速（l/s） |
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N2 |
61 |
540 |
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He |
57 |
580 |
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H2 |
53 |
500 |
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压缩比 |
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N2 |
>1 × 1011 |
>1 × 1010 |
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He |
1 x 106 |
1 x 108 |
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H2 |
5 x 104 |
5 x 106 |
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极限压力 (mbar) |
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<10-10 |
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带有 RV 前级泵 ISO/CF |
<5 x 10-9 / 5 x 10-10 |
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带有隔膜前级泵 ISO/CF |
<5 x 10-8 / 5 x 10-9 |
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推荐前级泵* |
RV5/nXDS5i |
RV12/nXDS10i |
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水冷却（15 °C 水，40 °C 环境温度） |
2 × 10-2 mbar |
2 x 10-3 mbar |
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强制空气冷却，35°C 环境温度 |
1 × 10-2 mbar |
5 x 10-4 mbar |
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标称旋转速度 |
90000 rpm |
50000 rpm |
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到 90% 速度的启动时间 |
110 s ‡ |
6.5min |
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冷却方法# |
强制空气/水 |
强制空气/水 |
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强制空气冷却的环境空气温度 |
5 - 35 °C |
0 °C - 35 °C |
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最小冷却水流速（15 °C 的水） |
15 l h-1 |
15 l h-1 |
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水温范围 |
10 - 20 °C |
10 - 20 °C |
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最高入口法兰温度 |
100 °C |
80 °C |
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操作姿态 |
垂直且竖直，直到 |
垂直且竖直， |
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水平 |
直到水平 |
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1 米处的噪音级别 |
<50 dB(A) |
<60 dB(A) |
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推荐控制器 |
TIC100 分子泵和仪器控制器 |
EXC300 |
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静止电功率 |
10 W |
35 W |
*以上数据仅供参考，如需详细资料。请与我们联系。
