概述

Edwards STP系列磁悬浮涡轮分子泵 用于电子显微镜和半导体应用。Edwards 的转子技术可实现一流的性能，最大的制程灵活性。STP301 已经由科学仪器、半导体和磁介质行业的大型设备制造商投入使用，并得到了认可。
 
此STP 泵在供货时带有入口筛网。
 
如需完整安装，请订购一台STP 泵、一个控制器、一根连接电缆和一根电源电缆。

应用

· 金属（铝）、钨和电介质（氧化物）以及多晶硅等离子刻蚀（氯化物、氟化物和溴化物）

· 电子回旋共振(ECR) 刻蚀

· 薄膜沉积CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD

· 溅射

· 离子注入源，射束线泵送端点站

· MBE

· 扩散

· 光致抗蚀剂脱模

· 晶体/晶膜生长

· 晶片检查

· 负载锁真空腔

· 科学仪器：表面分析、质谱分析、电子显微镜

· 高能物理：射束线、加速器

· 放射线应用：融合系统、回旋

功能和优势

先进的转子技术  

· 最大的制程灵活性

· 无油

· 低振动

· 高度可靠

· 免维护

先进的控制器设计  

· 自动调整

· 自行诊断功能

· 直流电机驱动

· 无电池运行

紧凑型设计  

· 占地面积小

· 半机架控制器

技术参数

*以上数据仅供参考，如需详细资料。请与我们联系。