IH半导体干泵
IH半导体干泵
概述
Edwards 高级半导体真空泵已经过现场应用证明，可以按照最高工作标准运行。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率，同时最大程度地减小占地面积、降低运行成本，实现了高的可靠性和性能。
iH 系列为难以执行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的 PECVD 和 LPCVD 制程）提供了高可靠性。
应用
· 负载锁
· 输送
· 计量
· 平版印刷
· PVD 制程
· PVD 预清洁
· RTA
· 剥离/灰化
· 刻蚀
· 植入源
· HDP CVD
· RTP
· SACVD
· MCVD
· PECVD
· LPCVD
· ALD
技术数据
*以上数据仅供参考，如需详细资料。请与我们联系。
