BEH系列
BEH系列
通过微机精密控制工作状态。
BEH干式真空泵系列产品在实现低速运转的同时仍能发挥极高性能，可用于CVD、PVD、刻蚀、溅射等所有工程。
特点
n 微机控制系统
常见显示泵的电流值、冷却水的流量、氮气流量、泵的背压。可以精密控制工作状态。另外，发生异常时，响起警报，并显示和记录时间和异常内容。报警内容和时刻最多要记录199条。
n 遥控
内装专用连接器。遥控运转和监视。
n 节约N2气体模式
工程中止时，可遥控切断稀释用N2气体。
n LCD控制器
运转操作和显示各种信息。
规格
*以上数据仅供参考，如需详细资料，请与我们联系。
